Materiaalontdekking kan helpen bij het realiseren van goedkope geheugenchips met een lange levensduur
Afzettingsmethode van HZO-laag. HZO-lagen van de TiN / HZO / TiN-condensator werden afgezet door magnetron Co-sputtering van Hf en ZrO2 doelen en zuurstof (0,6 sccm) en argon (40 sccm) worden ...